院士:尤政
亮点:在国内率先开展微纳技术及其空间应用研究,率先开展微卫星技术创新与工程实践

2017年9月,尤政院士工作站揭牌成立。尤政院士工作站是由山东省科技厅与淄博高新区MEMS研究院联合共建,旨在发挥中国工程院院士尤政及其团队在国内外MEMS领域的领军作用,凝聚高端智力,推动淄博高新区、淄博市的MEMS和集成电路产业跨越式发展。
尤政院士是我国机械电子工程专家,在国内率先开展微纳技术及其空间应用研究,率先开展微卫星技术创新与工程实践。尤政院士工作站建站以来,助力淄博高新区企业不断开展技术创新和产品研发,推动高新区产业升级转型。
在人才聚集效应方面,该院士工作站吸引了大量高层次人才入驻,形成了一支以尤政院士为核心、由清华大学研究员周斌、北京大学教授杨振川、北京科技大学教授滕蛟等30余名国内外知名专家组成的科研团队。
在科研成果方面,该院士工作站开发了180余项核心工艺和3种成套体硅加工标准工艺;自研出MEMS继电器、压阻式压力计、高温恶劣环境用温度传感器等;开发基于SOG工艺器件(MEMS陀螺仪、MEMS加速度、MEMS继电器等)用的圆片级封装技术和MEMS先进集成三维异质异构集成技术,在国内外发表高水平文章27篇,获得国家授权发明专利21项。
在产学研结合方面,该院士工作站举办首届中国(淄博)MEMS产业战略高峰论坛,淄博高新区MEMS研究院硅微机械陀螺、加速度计、继电器等产品下线,同时,举行了新型MEMS继电器研制项目等10个合作项目的签约仪式;链接清华大学、北京大学、北京科技大学、中国科学院等高校和研究机构,先后成立新材料与工艺中心、仿真与设计中心、集成测试中心,为拉动区域人才聚集和促进当地新旧动能转换提供新引擎。
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